MEMS加速度振動(dòng)傳感器原理

MEMS加速度振動(dòng)傳感器原理MEMS是micro electro mechanical system微電子機(jī)械系統(tǒng)的縮寫，這種微電子制造技術(shù)適用于任何傳感器的制造。這些技術(shù)，通常在硅晶體上蝕刻，創(chuàng)造微觀尺寸的機(jī)械傳感結(jié)構(gòu)。當(dāng)與微電路耦合時(shí)，MEMS傳感器可以用于測(cè)量例如加速度之類的物理參數(shù)。不同于ICP®傳感器，MEMS傳感器測(cè)量頻率低至0Hz(靜態(tài)或者DC加速度)。PCB®制造兩種類型的MEMS加速度計(jì)，可變電容式和壓阻式。可變電容(VC)MEMS加速度計(jì)主要是低幅值，高靈敏度設(shè)備，用于結(jié)構(gòu)監(jiān)測(cè)和恒定加速度的測(cè)量。壓阻(PR)MEMS加速度計(jì)主要是高量程，低靈敏度設(shè)備，用于沖擊和爆炸應(yīng)用。 工業(yè)加速度傳感器可以使用耐腐蝕和耐化學(xué)腐蝕的不銹鋼進(jìn)行構(gòu)造。在有害化學(xué)物質(zhì)的環(huán)境中，傳感器考慮使用聚四氟乙烯耐腐蝕的連接電纜。強(qiáng)烈建議檢查任何可疑化學(xué)物質(zhì)的化學(xué)兼容性圖表。對(duì)于能接觸到切屑的環(huán)境，一體鎧裝電纜能提供良好的保護(hù)。